为了使系统内不存在任何一点易于大量放气的物质以及除去蒸气压较高的物质,必须进行彻底的处理。不同的真空元件和不同的材料有其特殊的清洗方法，常用的真空元件清洗方法如下。
　　(1)旋片式真空泵的清洗
　　对无明显故障的好凯德旋片式真空泵的清洗,一般不拆开泵,只需从放油孔排出旧油及脏物,用漏斗从进气口注入新真空泵油(作洗涤用),用手慢慢的旋转泵轮几圈后,再把此油放出。用同样的方法重复一、二次,就可灌新油正式使用。对新好凯德旋片式真空泵不必清洗,但需要检查管道入口处是否清洁,有无异物,并擦去表面油灰。
　　(2)金属扩散泵的清洗
　　根据实际经验总结,可按下述步骤进行:
　　①将泵内的喷口及引管小心地取出,并拆开,用干净的棉纱或废纸将泵内部及各级喷口与引管上的油脂擦掉;
　　②用浓度为50～100克/升的苛性钠溶液,并加热到60～70℃,进行浸洗,或者直接用有机溶剂如四氯化碳,三氯化乙烯、丙酮等进行浸洗;
　　③用热水冲洗;
　　④用冷水多次冲洗;
　　⑤将零部件用热风吹干或在烘箱中烘干。
　　(3)对玻璃扩散泵、玻璃管及玻璃活栓的清洗
　　①用冷水充分冲洗,必要时用药棉擦试;
　　②若玻璃表面有油脂时,用较浓的苛性钠溶液清洗;
　　③用重铬酸钾溶液(又称洗液)清洗,其配方如下:
　　重铬酸钾饱和水溶液 20～30毫升
　　浓硫酸(94% ) 500毫升
　　配制方法是,将重铬酸钾加入蒸馏水内,直到结晶不再溶化,即得到饱和溶液,量出所需的数量,然后将浓硫酸缓慢加入并不断的搅动,即配成洗液。使用时温度最好在100～110℃,此时溶液是透明红色,用过多次失效后,溶液变成绿色或泞污;
　　④冷水冲洗,再用蒸馏水洗,玻璃上应没有肉眼可见的水珠;
　　⑤用吹风机吹干或放于烘箱内烘干。
　　(4)真空橡胶管(或橡皮块)的清洗
　　①在15%～20%苛性钠溶液中热煮(70℃ ～80℃)1小时以上。
　　②冷水漂净;
　　③在水中煮沸;
　　④吹干或烘干。
　　(5)玻璃活栓在使用下清洗
　　玻璃活栓在使用一段时间后,常后产生漏气,转动困难,此时可用药棉花醮点汽油、三氯化乙烯或四氯化碳擦洗,除去油脂。待溶剂完全挥发后,再涂以适当型号的真空脂密封。
　　(6)金属零件的清洗
　　一般小型金属零件,用有机溶剂去除油污,然后烘干。对金属零件及材料若有特殊的清洁要求,则此时的清洗方法,可按具体要求办理,总的原则是尽量减少气源和污染源。